CN102246312A 结场效应晶体管装置结构及其制作方法 （美光科技公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102246312A

(43)申请公布日2011.11.16

(21)申请号200980149820.4

(22)申请日2009.11.19

(30)优先权数据

12/333,0122008.12.11US

(85)PCT申请进入国家阶段日

2011.06.10

(86)PCT申请的申请数据

PCT/US2009/0651922009.11.19

(87)PCT申请的公布数据

WO2010/068384EN2010.06.17

(71)申请人美光科技公司地址美国爱达荷州

(72)发明人钱德拉·穆利

(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司11287

代理人宋献涛

(51)Int.CI.

HO1L

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29/808(2006.01)

21/337(2006.01)27/06(2006.01)

27/108(2006.01)

27/11(2006.01)21/225(2006.01)

权利要求书3页说明书7页附图7页

(54)发明名称

结场效应晶体管装置结构及其制作方法

(57)摘要

CN