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金属有机化合物气体应用：四氟化硫

1.别名middot;英文名

氟化硫；Sulfurtetrafluoride、Sulfurfluoride．

2.用途

电子气、化学气相淀积、氟化剂、表面处理剂、等离子干刻。

3.制法

2F2+Srarr;SF4

4.理化性质

分子量：108.058

熔点：-121.5℃

沸点(101.325kPa)：-40.4℃

液体密度(-40.4℃，101.325kPa)：1816kg/m3

(-80℃，S.P.)：1940.6kg/m3

气体密度(20℃，101.325kPa)：4.558kg/m3

相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：3.783

比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2247m3/kg

临界温度：90.9℃

临界压力：6342.9kPa

气化热(-40.4℃，101.325kPa)：200.72kJ/kg

比热容(气体，25℃)：Cp=707.57J/(kgmiddot;k)

蒸气压(-100℃)：0.9kPa

(-60℃)：32kPa

(21.1℃)：1067