CN118451371A 具有提高的精度的半导体晶圆的3d体积检查 (卡尔蔡司Smt有限责任公司).pdfVIP

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  • 2026-03-13 发布于重庆
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CN118451371A 具有提高的精度的半导体晶圆的3d体积检查 (卡尔蔡司Smt有限责任公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118451371A

(43)申请公布日2024.08.06

(21)申请号202280084390.8C·黄

(22)申请日2022.11.22(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

11105

(30)优先权数据

专利代理师王蕊瑞

63/292,0432021.12.21US

(51)Int.Cl.

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

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