CN103620739B 用于制作高密度集成电路器件的方法 (美商新思科技有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-15 发布于重庆
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CN103620739B 用于制作高密度集成电路器件的方法 (美商新思科技有限公司).docx

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN103620739B公告日2016.07.20

(21)申请号201280030896.7

(22)申请日2012.05.01

(30)优先权数据

13/101,6652011.05.05US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2013.12.23

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2012/0359972012.05.01

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2012/151209EN

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