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CN114223051B 用于制造光子装置的元件的系统和方法 （保罗·谢勒学院）.docxVIP

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  • 2026-03-17 发布于山西
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CN114223051B 用于制造光子装置的元件的系统和方法 （保罗·谢勒学院）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN114223051B

    (45)授权公告日2025.06.10

    (21)申请号202080057026.3

    (22)申请日2020.07.28

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114223051A

    (43)申请公布日2022.03.22

    (30)优先权数据42019.08.14EP

    (85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.02.11

    (86)PCT国际申请的申请数据

    PCT/EP2020/0712352020.07.28(87)PCT国际申请的公布数据

    WO2021

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