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十五五：迈向7nm及以下，先进制程材料需求催生5倍以上扩产空间.pptxVIP

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  • 2026-03-17 发布于云南
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十五五：迈向7nm及以下，先进制程材料需求催生5倍以上扩产空间.pptx

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    目录

    一、摩尔定律“续命”之战：为何十五五必须挺进7nm及以下“无人区”？

    二、5倍空间从何而来？专家深度拆解先进制程材料需求的“乘数效应”

    三、硅基帝国的“临界点”：衬底与外延材料在2nm时代的颠覆性变革

    四、光刻“魔法”背后的物质基础：极紫外光刻胶与配套试剂的百亿蓝海

    五、原子层deposition的“微观积木”：前驱体在GAA与CFET工艺中的关键一跃

    六、“低电阻”的终极挑战：金属互连从铜到钌、钴的材料革命与设备协同

    七、刻蚀“利刃”的自我迭代：高选择性气体如何在纳米级雕塑中实现原子级精度

    八、化学机械抛光的“原子级平坦化”：平坦度与缺陷

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