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探寻NEMS谐振器振动特性检测方法：技术、挑战与突破

一、引言

1.1研究背景

在科技飞速发展的当下，纳米电子机械系统（Nano-ElectroMechanicalSystems，NEMS）作为多学科交叉融合的前沿领域，正以前所未有的态势蓬勃发展。NEMS凭借其体积小、频率高、能量低、灵敏度高等卓越特性，在众多领域展现出巨大的应用潜力和价值，已然成为推动现代科技进步的关键力量。

NEMS谐振器作为NEMS结构的核心部件，具有高灵敏度、高频率、低能耗等优良特性，在传感器领域，NEMS谐振器能够凭借其极高的灵敏度，捕捉到极其微弱的物理量变化，如微小的力、质量、应变等，并将其转化