CN104035622A 一种触控屏感应器的制作方法 （深圳市点燃科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104035622A

(43)申请公布日2014.09.10

(21)申请号201410291154.0

(22)申请日2014.06.25

(71)申请人深圳市点燃科技有限公司

地址518000广东省深圳市前海深港合作区

前湾一路鲤鱼门街一号前海深港合作

区管理局综合办公楼A栋201室(入驻

深圳市前海商务秘书有限公司)

(72)发明人向火平

(74)专利代理机构深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)44314

代理人张秋红

(51)Int.CI.

GO6F3/041(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图1页

(54)发明名称

一种触控屏感应器的制作方法

(57)摘要

CN104035622A本发明公开了一种触控屏感应器的制作方法。该方法包括以下步骤：对溅射有氧化铟锡层的玻璃基板或PET板进行清洗并干燥；在黄光条件下，采用覆膜方式在氧化铟锡层上覆上固态光刻胶；将覆上固态光刻胶的玻璃基板或PET板放置在掩膜版上，曝光固态光刻胶；使用显影液将横向电极的图案或纵向电极的图案显影，去除固态光刻胶中没有发生曝光反应的区域；采用蚀刻液对氧化铟锡层进行蚀刻，去除氧化铟锡层中没有覆盖有已曝光