SEMI F75-0521 半导体制造用超纯水质量监控指南 解读.docx

SEMIF75-0521半导体制造用超纯水质量监控指南解读

标准概述与技术背景

SEMIF75-0521《半导体制造用超纯水质量监控指南》是SEMI国际组织针对超纯水(UPW)质量监控制定的专业技术标准。该标准最初发布于2002年，最新版本于2021年3月9日经全球审计和评审分委员会批准发布。作为SEMIUPW标准系列的第三部分，该指南与SEMIF61（UPW系统设计操作指南）和SEMIF63（UPW质量标准）共同构成了完整的超纯水质量管控体系。

随着半导体技术节点不断缩小至65纳米以下，晶圆制造对超纯水纯度的要求日益严苛。微小的污染物即可导致器件良率下降，因此建立系统化的监控程