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CN113540034B 半导体装置及其形成方法 （台湾积体电路制造股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-18 发布于山西
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CN113540034B 半导体装置及其形成方法 （台湾积体电路制造股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN113540034B

    (45)授权公告日2025.06.20

    (21)申请号202110390184.7

    (22)申请日2021.04.12

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113540034A

    (43)申请公布日2021.10.22

    (30)优先权数据

    16/901,6802020.06.15US

    (73)专利权人台湾积体电路制造股份有限公司地址中国台湾新竹市

    (72)发明人林群能连建洲叶明熙

    (74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003

    专利代理师黄艳

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