CN118553320B 一种缓蚀剂的确认方法和装置 (北京科技大学).pdfVIP

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  • 2026-03-18 发布于重庆
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CN118553320B 一种缓蚀剂的确认方法和装置 (北京科技大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN118553320B

(45)授权公告日2025.01.17

(21)申请号202410617464.0G06F18/214(2023.01)

(22)申请日2024.05.17(56)对比文件

(65)同一申请的已公布的文献号CN116150125A,2023.05.23

申请公布号CN118553320ACN117571589A,2024.02.20

审查员刘兆矣

(43)申请公布日2024.08.27

(73)专利权人北京科技大学

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