CN107848947B 含氟化合物、活性聚合引发剂、含氟聚合物、含氟聚合物的制造方法及抗蚀剂组合物 （Dic株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN107848947B

(45)授权公告日2025.06.20

(21)申请号201680043352.2

(22)申请日2016.07.14

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN107848947A

(43)申请公布日2018.03.27

(30)优先权数据

2015-1458032015.07.23JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2018.01.23

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2016/0708272016.07.14

(87)PCT国际申请的公布数据

WO20