十五五：半导体材料行业的技术预测与路线图研究服务.pptxVIP

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一、二、三、四、五、六、七、八、九、十、一、摩尔定律的“续命”与“换道”：十五五期间，半导体材料如何突破物理极限，成为后摩尔时代的核心驱动力？（专家视角深度剖析）

（一）尺寸微缩的物理极限：当制程逼近1纳米，传统硅基材料遭遇的根本性瓶颈是什么？

随着晶体管尺寸逼近原子尺度，量子隧穿效应导致漏电流剧增，传统二氧化硅栅介质层和硅沟道材料的载流子迁移率控制能力达到物理极限。短沟道效应、散热难题和寄生电容等问题变得无法通过传统光刻与掺杂技术解决。本部分将深入剖析当栅极长度仅相当于几个硅原子宽度时，材料内部的电子行为如何失控，为何单纯依靠缩小晶体管尺寸（MoreMoore）的成本与收