原创力文档2026年制程过程能力分析报告
第一章2026年制程能力基线再确认
1.1数据母体与抽样策略
2026年新增3条3nm级FinFET产线与2条GAA试产线，为消除“新设备—新材料—新量测”三元耦合噪声，抽样方案由2025年的“每Lot3片”升级为“时空双维嵌套”：
①时间维：每2h抽1Lot，连续30天，覆盖换班、保养、假日三段波动；
②空间维：每Lot内按“边缘-中间-边缘”取5片，每片9点螺旋布点，共135点；
③样本量：3nm线97200点，GAA线64800点，母体均30万片，保证α=0
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