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平面衍射光栅间距误差的测量

兹比格涅夫·雅罗舍维奇

光学，卡米翁科夫斯卡街18号，03‑805，波兰

收稿日期：

本文介绍了两种平面衍射光栅间距误差的测量方法。第法类似于实时全息测

量。当物体光束为第−n级衍射时，全息图，然后用第−n级衍射波进行照明。第二种

方法利用双全息测量。第一次时，第n级衍射作为物体光束。第二次时，

第−n级衍射作为物体光束。这两种方法不仅能够单独测量间距误差，而且还能从光栅表

面误差和设置中其他光学元件引入的像差中区分出来。

1.引言

平面衍射光栅产生的波前受到两种类型的像差的。第一种是由刻线间距误差引起的。

第二种是在反射型光栅的情况下由光栅表面形状误差引起，或在透射型光栅的情况下由

光学厚度变化引起。

在某些情况下，评估纯间距误差是有用的；例如，它可以用于检查刻线机的工作质量。

存在几种光栅的