CN114513180B 薄膜表声波谐振器及其制造方法 (中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司).docxVIP

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  • 2026-03-19 发布于山西
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CN114513180B 薄膜表声波谐振器及其制造方法 (中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114513180B

(45)授权公告日2025.05.13

(21)申请号202011280224.4

(22)申请日2020.11.16

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114513180A

(43)申请公布日2022.05.17

(73)专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司

地址201210上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309

(72)发明人黄河罗海龙李伟

(74)专利代理机构北京思创大成知识产权代理有限公司116

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