CN114830295B 基板处理方法和基板处理装置 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114830295B

(45)授权公告日2025.06.10

(21)申请号202080087508.3

(22)申请日2020.12.09

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114830295A

(43)申请公布日2022.07.29

(30)优先权数据

2019-2361902019.12.26JP2020-0118242020.01.28JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.06.16

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2020/0458842020.12