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CN118969703B 硅片的定位校准方法、装置、设备及存储介质 （北京屹唐半导体科技股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-03-20 发布于重庆
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CN118969703B 硅片的定位校准方法、装置、设备及存储介质 （北京屹唐半导体科技股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN118969703B

    (45)授权公告日2025.01.21

    (21)申请号202411441296.0H01L21/67(2006.01)

    (22)申请日2024.10.15(56)对比文件

    (65)同一申请的已公布的文献号CN106256929A,2016.12.28

    申请公布号CN118969703ACN113272947A,2021.08.17

    审查员曹毓涵

    (43)申请公布日2024.11.15

    (73)专利权人北京屹唐半导体科技股份有限公

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