CN118760266B 远程等离子源反应腔体温度控制电路及控制方法 (江苏神州半导体科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-03-21 发布于重庆
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CN118760266B 远程等离子源反应腔体温度控制电路及控制方法 (江苏神州半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN118760266B

(45)授权公告日2025.01.21

(21)申请号202410975328.9(56)对比文件

(22)申请日2024.07.19

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