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KYKYEM6900扫描电子显微镜KYKY-EM6900用户手册.pdf

KYKYEM6900扫描电子显微镜KYKY-EM6900用户手册.pdf

    KYKY-EM6900钨灯丝扫描电子显微镜

    1电子光学系统

    1.1光源：钨灯丝电子枪

    1.2二次电子分辨率3nm@30kV；

    1.3加速电压范围：0－30kV，连续可调；

    1.4放大倍数：底片放大6X－300，000X，连续调节；

    1.5仪器配置3组机械对中调节旋钮，同时具备电子束电对中及机械对中两种调

    节模式；

    1.6物镜光阑：物镜光阑为杆式光阑，光阑孔数量3个，可真空外调节和更换，

    无需拆卸镜筒，便于维护。

    2真空系统（可选配低真空功能）

    2.1抽真空系统：磁悬浮涡轮分子泵+机械泵；

    2.2全

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