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CN115509081B 光学临近修正方法、掩膜版及可读存储介质 （无锡华润上华科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-03-23 发布于重庆
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CN115509081B 光学临近修正方法、掩膜版及可读存储介质 （无锡华润上华科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN115509081B

    (45)授权公告日2025.01.21

    (21)申请号202110692382.9G03F7/20(2006.01)

    (22)申请日2021.06.22(56)对比文件

    (65)同一申请的已公布的文献号CN101349863A,2009.01.21

    申请公布号CN115509081ACN106483758A,2017.03.08

    审查员彭文炫

    (43)申请公布日2022.12.23

    (73)专利权人无锡华润上华科技有限公司

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