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CN114972173B 缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-24 发布于山西
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CN114972173B 缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN114972173B

    (45)授权公告日2025.06.03

    (21)申请号202210356413.8

    (22)申请日2022.03.30

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114972173A

    (43)申请公布日2022.08.30

    (73)专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司地址518110广东省深圳市龙华区大浪街

    道同胜社区上横朗第四工业区2号

    101、201、301

    (72)发明人陈鲁肖遥佟异张嵩

    (74)专利代理机构深圳精智联合知识产权代理有限公司443

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