CN119644681A 运动曝光工作台、曝光系统和曝光的控制方法 (合肥芯碁微电子装备股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-03-24 发布于重庆
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CN119644681A 运动曝光工作台、曝光系统和曝光的控制方法 (合肥芯碁微电子装备股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119644681A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202510110128.1

(22)申请日2025.01.23

(71)申请人合肥芯碁微电子装备股份有限公司

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