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太阳能电池关键材料α-SiCx：H薄膜的制备与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景

在全球能源需求持续增长以及环境问题日益严峻的大背景下，太阳能作为一种清洁、可再生的能源，受到了广泛关注。太阳能电池作为将太阳能转化为电能的关键器件，其发展对于解决能源危机和环境问题具有重要意义。

近年来，太阳能电池技术取得了显著进展，市场规模持续扩大。据相关数据显示，中国光伏电池产量占全球总产量的比例持续保持在高位，2024年上半年我国太阳能电池（光伏电池）产量累计值达28629.4万千瓦，期末总额比上年累计增长17.8%。在技术方面，PERC技术、TOPCon技术、HJT技术等新型光伏技术不断涌现，有效提升了光伏电池的发电效率和生产性能。然而，目前太阳能电池仍然面临着一些挑战，如光电转换效率有待进一步提高、成本较高等问题，限制了其大规模应用。

薄膜太阳能电池作为太阳能电池的一个重要分支，具有成本低、可柔性化、易于大面积制备等优点，成为了研究的热点之一。α-SiC?：H薄膜作为一种新型的半导体薄膜材料，在太阳能电池领域展现出了潜在的应用价值。它具有宽禁带、高光学带隙、良好的化学稳定性和热稳定性等特点，可以作为窗口层、缓冲层或有源层应用于太阳能电池中，有望提高太阳能电池的性能。

1.2研究目的与意义

本研究旨在探索太阳能电池用α-SiC?：H薄膜的制备工艺，深入研究