TCASAS027-2023 射频 GaN HEMT 外延片二维电子气迁移率 非接触霍尔测量方法.pdf

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ICS31.080

CCSL40/49

团体标准

T/CASAS027—2023

射频GaNHEMT外延片二维电子气迁移率

非接触霍尔测量方法

Two—dimensionalelectrongasmobilityofRFGaNHEMTepitaxia

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