提高氮化物LED外延片发射波长均匀性生长方法.pdfVIP

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(21)申请号201310023732.8

(22)申请日2013.01.23

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN103943731

(43)申请公布日2014.07.23

(73)专利权人同方光电科技

地址100083市海淀区方科技广场A座29层

专利权人同方

(72)发明人马亮梁信伟

(51)Int.CI.H01L33/00(2010.01)

(56)对比文件CN101373808A,2009.02.25，CN102074624A,2011.05.25，

CN202465868U,2012.10.03,US2012031338A1,2012.02.09,

员

权利要求书1页说明书5页附图3页

(54)发明名称

一种提高氮化物LED外延片波长均匀性的生长方法

(57)

一种提高氮化物LED外延片波长均匀性的