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半导体真空视窗技术研究

目录

内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景及意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3研究内容及目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.4研究方法及技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

半导体设备对真空视窗的性能要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.1薄膜沉积工艺对视窗的．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.2等离子体刻蚀工艺对视窗的耐刻蚀性要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.3纳米尺度加工对视窗的透光率要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

2.4真空环境对视窗的密封性要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.5其他性能要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

真空视窗材料的选择与制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．