CN120028913A 一种氧化硅厚度监控方法 (国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-03-31 发布于重庆
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CN120028913A 一种氧化硅厚度监控方法 (国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120028913A

(43)申请公布日2025.05.23

(21)申请号202510124216.7G02B6/13(2006.01)

G02B6/136(2006.01)

(22)申请日2025.01.26

G02B6/12(2006.01)

(71)申请人国科光芯金杏(北京)实验室科技有

限公司

地址101499北京市怀柔区大中富乐村北

红螺东路21号56幢1层106-15室

(72)发明人刘敬伟张彦乐李春龙周

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