《油气井工程测量理论与方法》第三章 常见的传感器-电阻式传感器.pptVIP

油气井工程测量理论与方法《油气井工程测量理论与方法》第三章常见的传感器——电阻式传感器电阻式传感器定义：把被测量转换为电阻变化的传感器。按电阻的改变原理可分为变阻器和电阻应变式两种。一、变阻器式也称作电位差计式（其实质为一分压电路），通过改变电位器触头的位置，把位移变成电阻的变化：当A不变时，改变x就可以得到不同的电阻值R。再经过转换电路变成电量输出。直线型电阻式传感器x—位移灵敏度变阻器式传感器测量力、位移等，进而在现场转化为测量液位、体积等箔式电阻应变片应变片式压力变送器半导体硅，其灵敏系数KC=50一100。显然半导体电阻材料的灵敏系数比金属丝的要高50--70倍。最常用的半导体电阻材料有硅和锗。在其中掺杂可形成P型或N型半导体。其压阻效应是由于在外力作用下，原子点阵排列发生变化，导致载流子迁移率及载流子浓度的变化，从而引起电阻率的变化。压阻效应与掺杂浓度、温度、材料类型及晶向有关。从原理和制造工艺可知，压阻元件存在的主要问题是受温度影响大，灵敏系数离散性高，大应变测量时非线。压阻式传感器比较成熟的是压力传感器和加速度传感器。压阻式传感器用单晶硅片作为弹性敏感元件，在其上扩散出P型和N型电阻，接成电桥进行压力和加速度测量扩散硅式压