CN111668092B 晶圆键合的方法 （北京华卓精科科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111668092B

(45)授权公告日2025.07.15

(21)申请号202010511286.5

(22)申请日2020.06.08

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111668092A

(43)申请公布日2020.09.15

(66)本国优先权数据

202010331326.82020.04.24CN

(73)专利权人北京华卓精科科技股份有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）

(72)发明人刘