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Zeiss 电子显微镜 Tungsten LaB6 Schottky Field Emission Cold Field Emission 说明书用户手册.pdf

Zeiss 电子显微镜 Tungsten LaB6 Schottky Field Emission Cold Field Emission 说明书用户手册.pdf

    2.电子显微镜的构造和原理

    电镜基本构造

    •电子光学系统

    •照明系统：电子枪产生电子束

    •成像系统：形成图像

    •像的观察和记录系统：得到数据

    •真空系统

    •电子部分

    •电源供应

    •其它

    •震动抑制

    •电磁屏蔽

    •样品台

    照明系统：电子发射源

    电子显微镜有多种材料做为电子束光源，常用的有：

    钨灯丝，LaB6，肖特基场发射灯丝，冷场发射灯丝等

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