CN110867515A 一种FeMoCrCBY相变薄膜、制备方法及3D模拟瞬态热分布方法 （华中科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN110867515A

(43)申请公布日2020.03.06

(21)申请号201910968751.5

(22)申请日2019.10.12

(71)申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

1037号

(72)发明人何超缪向水

(74)专利代理机构武汉东喻专利代理事务所(普通合伙)42224

代理人王福新

(51)Int.CI.

H01L45/00(2006.01)

GO6F30/23(2020.01)

G06F119/08(2020.01)

权利要求书1页说明书8页附图3页

(54)发明名称

一种FeMoCrCBY相变薄膜、制备方法及3D模拟瞬态热分布方法

(57)摘要

CN110867515AZ本发明公开了一种FeMoCrCBY相变薄膜的制备方法，包括如下步骤：S1:将FeMoCrCBY靶材进行打磨处理，去除表面氧化层；S2:再将所述FeMoCrCBY靶材放置在直流溅射靶托上，将待溅射样品放置在样品托盘上放置；S3:将溅射腔体抽真空，真空度在1*10-4Pa～1*10-5Pa之间；S4:通过直流磁控