RHEED(反射高能电子衍射仪)
RHEED(反射高能电子衍射仪)是观察晶体生长最重要的实时监测工具之一。它可以通过非常小的掠射
角将能量为10-30KeV的高能电子掠射到晶体表面,通过衍射斑点及其强度变化获得薄膜厚度,组分以及晶
体生长机制等重要信息。因此反射高能电子衍射仪已成为MBE、PLD等系统中监测薄膜表面形貌的一种标准
化技术。
30KeV电子枪(RDA-004G)电源(RDA-004P)kSA40012bit88fpsCCD(含控制电脑显示器)
R-DEC公司生产的反射高能电子衍射仪,以便于操作
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