CN110867515B 一种FeMoCrCBY相变薄膜、制备方法及3D模拟瞬态热分布方法 （华中科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN110867515B公告日2021.05.11

(21)申请号201910968751.5

(22)申请日2019.10.12

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110867515A

(43)申请公布日2020.03.06

(73)专利权人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

1037号

(72)发明人何超缪向水

(74)专利代理机构武汉东喻专利代理事务所(普通合伙)42224

代理人王福新

(51)Int.CI.

HO1L45/00(2006.01)

GO6F30/23(2020.01)

G06F119/08(2020.01)

(56)对比文件

CN1739148A,2006.02.22

CN103946406A,2014.07.23

CN110318690A,2019.10.11

CN107470641A,2017.12.15

US2013/0306196A1,2013.11.21

WO2013/162532A1,2013.10.31

US2012/0