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CN115954255B 等离子体反应器、等离子体处理工件的方法 （应用材料公司）.docxVIP

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  • 2026-04-04 发布于山西
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CN115954255B 等离子体反应器、等离子体处理工件的方法 （应用材料公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN115954255B

    (45)授权公告日2025.05.16

    (21)申请号202310064701.0

    (22)申请日2018.05.25

    (65)同一申请的已公布的文献号

    (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

    有限公司11006

    专利代理师徐金国赵静

    (51)Int.Cl.

    H01J37/32(2006.01)

    H01L21/67(2006.01)

    H01L21/3065(2006.01)

    C23C16/50(2006.01)

    H05H1/46(2006.01)

    C23C

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