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芯三代半导体科技（苏州）有限公司年产碳化硅外延设备台项目竣工环境保护验收意见
芯三代半导体科技（苏州）有限公司年产碳化硅外延设备50台项目
竣工环境保护验收意见
20211223
年月日，根据《芯三代半导体科技（苏州）有限公司年产碳化硅外延
50((2021)
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