CN119804470A 一种碳化硅晶片表面划伤检测装备与方法 （江苏天科合达半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804470A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510145313.4

(22)申请日2025.02.10

(71)申请人江苏天科合达半导体有限公司

地址221000江苏省徐州市经济技术开发

区创业路26号

申请人北京天科合达半导体股份有限公司

(72)发明人李璐李秀丽邹宇张平

娄艳芳彭同华杨建纪宇昂

梁厦王南南

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师王浩

(51)Int.Cl.

G01N21/89(2006.01)

G01N21/01