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- 2026-04-06 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119965128A
(43)申请公布日2025.05.09
(21)申请号202510143969.2
(22)申请日2025.02.10
(71)申请人上海中欣晶圆半导体科技有限公司
地址201900上海市宝山区山连路181号
(72)发明人孙涛
(74)专利代理机构上海港慧专利代理事务所
(普通合伙)31402
专利代理师蒋邦虎
(51)Int.Cl.
H01L21/67(2006.01)
权利要求书1页说明书9页附图3页
(54)发明名称
一种改善硅抛光片边缘颗粒沾污的洗净工
艺方法、设备及硅抛光片
(57
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