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过程技术与工艺

洁净室内压力控制的计算分析

田林香

倚世节能科技（上海）有限公司

摘要：房间压差是防止交叉污染发生的一项重要措施，但在密闭洁净室中的控制存在一定难度。本研

究采用仿真模型来理解和量化密闭洁净室房间压力的可控性，并使用灵敏度分析确定影响房间压力可

控性的关键因素。研究对围护气密性和溢流流量的影响进行了量化分析；同时探讨了三个耦合房间的

流量/压力级联效应，并量化了控制系统中其他因素对房间压力可控性的影响。本文的主要结论是，

创建较大的流量/压力级联系统可以显著提高房间压力的可控性。

关键词：洁净室；密封性；压力；控制；能源；流量；级联；围护；平均绝对误差（MAE）；均方误差（MSE）

1前言[2]

室，房间压力控制变得更加困难（，）。