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硅碳生产技术与质量控制手册

第1章硅碳生产基础理论

1.1硅碳材料的性质与应用

硅碳材料（SiliconCarbide,SiC）是一种高硬度、高热稳定性、高化学稳定性的非金属材料，具有优异的耐磨、耐高温、耐腐蚀性能，广泛应用于半导体制造、光学器件、热障涂层、高温结构件等领域。硅碳材料的莫氏硬度为9，仅次于金刚石，具有极高的耐磨性，适合用于切削工具和耐磨部件。

硅碳材料的热导率约为2.3W/(m·K)，比碳纤维高约3倍，适用于高温热传导场合。硅碳材料在高温下具有极高的抗热震性，可在1600°C以下长期稳定工作，适用于高温环境下的结构件。硅碳材料在半导体工业中用于制