2026年半导体工厂设备测试题及答案
一、单项选择题(每题2分,共20分)
1.以下哪种设备常用于半导体晶圆的光刻工艺?
A.刻蚀机
B.光刻机
C.化学气相沉积设备
D.离子注入机
答案:B
2.半导体制造中,用于去除晶圆表面杂质的设备是?
A.清洗设备
B.扩散炉
C.氧化炉
D.溅射设备
答案:A
3.下列哪种设备可以精确控制离子注入的能量和剂量?
A.光刻机
B.刻蚀机
C.离子注入机
D.化学机械抛光机
答案:C
4.化学气相沉积(CVD)设备主要用于?
A.晶圆表面的图形化
B.在晶圆表面沉积薄膜
C.去除晶圆表面的材料
D.对
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