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基于MEMS热电堆红外探测器的瞬态热仿真
TransientThermalSimulationofInfraredDetectorBasedonMEMSThermopile
摘要
随着红外探测技术和MEMS技术的不断发展，MEMS热电堆红外探测器以其重量小、成本低和功耗小等优点，引起了人们的广关注。为了设计一款高性能的MEMS热电堆红外探测器，本文主要做了以下研究。
基于塞贝克效应，初步设计热电堆的结构为四支撑臂结构，然后通过对比不同材料参数，确定热电堆的材料组成。推导了热电堆红外探测器响应率、
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