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CN116904963B 一种薄膜沉积系统和薄膜沉积的前置结构及其吹扫方法 （拓荆科技(上海)有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-09 发布于山西
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CN116904963B 一种薄膜沉积系统和薄膜沉积的前置结构及其吹扫方法 （拓荆科技(上海)有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN116904963B

    (45)授权公告日2025.06.27

    (21)申请号202310921046.6

    (22)申请日2023.07.25

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN116904963A

    (43)申请公布日2023.10.20

    (73)专利权人拓荆科技(上海)有限公司

    地址201306上海市浦东新区中国（上海）

    自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室

    (72)发明人刘肖朦陶海龙张启辉

    (74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100

    专利代

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