SiC功率器件光刻胶显影设备升级项目可行性研究报告.docx

SiC功率器件光刻胶显影设备升级项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

SiC功率器件光刻胶显影设备升级项目

建设单位

中科晶源半导体科技有限公司于2020年8月12日在江苏省无锡市新吴区市场监督管理局注册成立，属于有限责任公司，注册资本金伍仟万元人民币。主要经营范围包括半导体设备研发、生产、销售；集成电路芯片设计与制造；电子元器件、工业自动化设备销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。

建设性质

技术改造升级

建设地点

江苏省无锡市新吴区无锡高新技术产业开发区综合保税区K2地块

投资估算及规模