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单晶炉安全操作规范

1、开机安全检查

单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单

晶炉电极于无电压输出，各机械传动安全可靠；

1）检查主加热器于关闭状态是（否切断主回路的空开？）；

2）欧陆表输出设定为0；

3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象；

4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常；

2、装炉时安全事项

在开机检查正常状况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止

合闸警示牌；

3、抽真空安全事项

1）开真空泵前，应检查真空泵房，保证对应本设备的真空泵及管道

于无其他人员操作状态；

2）按真空泵操作规程正确操作；

3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈于正常，应无脱落、装

反等现象；

4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气,

以免造成人身或设各损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作;

4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全

事项

1）按工艺操作规程进行正确操作；

2）必须在主加热器