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CN117995753B 堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备 （北京大学）.docxVIP

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  • 2026-04-10 发布于山西
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CN117995753B 堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备 （北京大学）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN117995753B

    (45)授权公告日2025.06.13

    (21)申请号202410130550.9

    (22)申请日2024.01.30

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN117995753A

    (43)申请公布日2024.05.07

    (73)专利权人北京大学

    地址100871北京市海淀区颐和园路5号

    (72)发明人吴恒卢浩然彭莞越王润声黄如

    (74)专利代理机构北京善任知识产权代理有限

    公司11650

    专利代理师纪晓萌孟桂超

    (51)Int.Cl.

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