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CN118149606B 一种硅烷间歇炉及其加热控制方法 （佛山市天禄智能装备科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-10 发布于山西
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CN118149606B 一种硅烷间歇炉及其加热控制方法 （佛山市天禄智能装备科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN118149606B

    (45)授权公告日2024.07.05

    (21)申请号202410575603.8

    (22)申请日2024.05.10

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN118149606A

    (43)申请公布日2024.06.07

    (73)专利权人佛山市天禄智能装备科技有限公司

    地址528000广东省佛山市禅城区智慧路4

    号十五座一至二层

    (72)发明人冯昭辉赵海涛李韬李金瑞廖显潭

    (74)专利代理机构北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)11589

    专利代理师

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