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- 2026-04-11 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120006216A
(43)申请公布日2025.05.16
(21)申请号202510165826.1C23C14/24(2006.01)
C23C14/58(2006.01)
(22)申请日2025.02.14
(71)申请人上海新微半导体有限公司
地址201306上海市浦东新区中国（上海）
自由贸易试验区临港新片区飞渡路
2020号
(72)发明人韦晚霞严进一鲍辉方瑞禹
(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务
所(普通合伙)31237
专利代理师顾丹丽
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