CN120081330A 一种具有释放结构的薄衬底集成电路及其释放收集方法 （北京航空航天大学青岛研究院）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120081330A

(43)申请公布日2025.06.03

(21)申请号202510158206.5

(22)申请日2025.02.13

(71)申请人北京航空航天大学青岛研究院

地址266000山东省青岛市崂山区松岭路

393号

(72)发明人温良恭白中扬李昭颖熊凡

(74)专利代理机构青岛中天汇智知识产权代理

有限公司37241

专利代理师杨帆

(51)Int.Cl.

B81B7/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

H01L21/683(2006.01)

H01L23/00(2025.01)