原创力文档HandbookofSemiconductors
Thisbookprovidesreaderswithstate-of-the-artknowledgeofestablishedandemergingsemicon-
ductingmaterials,theirprocessing,andthefabricationofchipsandmicroprocessors.Inaddition
tocoveringthefundamentalsofthesematerials,itdetails
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